大宗特气供气系统介绍

大宗特气供气系统主要针对大规模量产的8-12英寸（1英寸=25.4毫米） 超大规模集成电路厂（气体种类包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等），100MW以上的太阳能电池生产线（气体种类包括NH3），发光二极管的磊晶工序线（气体种类包括NH3）、5代以上液晶显示器工厂（气体种类包括4、3、NF3）、光纤（气体种类包括SiCl4）、硅材料外延生产线（气体种类包括HCL）等行业。它们的投资规模巨大，采用1先进的工艺制程设备，高纯供气厂家，用气需求量大，对稳定和不间断供应、纯度控制和安全生产提出严格的要求。

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高纯供气系统

1、高压波纹软管 ：外表不锈钢金属网内衬PTFE材质，长度1米以上，高纯供气报价，通径大于6MM。一端符合标准钢瓶的连接型号，另一端连接自动切换系统。承受大于3000PSI。其特性为：洁净光亮、柔软、防腐。

2、低压报警器 ：低压报警器多触点可模拟数据输出型，报警器可蜂鸣闪光同时显示报警气体的名称。防爆接线、信号模拟和自动切换系统汇流排相匹配。

3、减压阀 ：316L不锈钢材质。一级减压阀进气压力0-200bar，出气压力0-16bar;二级减压阀进气压力0-16bar，出气压力0-6bar。进出口接口1/4” FNPT螺纹，压力表接口1/4” MNPT螺纹。

氦质谱检漏仪

真空检漏的方法很多，重庆高纯供气，氦质谱检漏仪的使用大大提升了检漏工作效率。

漏孔是指真空器壁上存在的形状不定、极其微小的空洞或间隙。大气通过其进入真空系统或容器中；

漏率（漏气速率）：是指单位时间内通过漏孔或间隙流入到真空系统或容器的气体量；

1小可检漏率：是指采用某种检漏方法或仪器可能检测出来的1小漏率；

检漏灵敏度：也叫有效灵敏度，指检漏仪器在1佳工作状态下能检出的1小漏率；

反应时间：也称响应时间，是指从检漏方法开始实施（如喷射示漏气体）到指示方法或仪器指示值上升到其漏孔1大泄漏率的63%时所需要的时间；

消除时间：是指从检漏方法停止（如停止喷吹示漏气体）到指示方法或仪器指示值下降到漏孔泄漏率的37%时所需的时间；

漏孔堵塞现象：指由于真空检漏作业操作不当导致尘埃或液体堵塞漏孔，检漏时似乎不漏气，但一经排气就会出现漏气的一种现象。

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