蒸发镀膜
一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。
厚度均匀性主要取决于:
1、基片材料与靶材的晶格匹配程度
2、基片表面温度
3、蒸发功率,真空镀膜系统,速率
4. 真空度
5. 镀膜时间,厚度大小
组分均匀性:蒸发镀膜组分均匀性不是很容易保证,具体可以调控的因素同上,但是由于原理所限,对于非单一组分镀膜,蒸发镀膜的组分均匀性不好。
如需了解更多真空镀膜的相关信息,欢迎关注艾明坷网站或拨打图片上的询!
真空镀膜机镀制薄膜不均匀的解决方法
制的薄膜的均匀性都会受到某种因素影响。
真空状态需要抽气系统来控制的,每个抽气口都要同时开动并力度一致,这样就可以控制好抽气的均匀性,如果抽气不均匀,在真空室内的压强就不能均匀了,压强对离子的运动是存在一定的影响的。
另外抽气的时间也要控制,太短会造成真空度不够,但太长又浪费资源,不过有真空计的存在,要控制好还是不成问题的。
本信息由艾明坷为您提供,如果您想了解更多产品信息,您可拨打图片上的咨询,艾明坷竭诚为您服务!
ST系列镀膜机
ST系列镀膜机系我司标准化产品,满足大部分实验室科研需求,丰富的可选配置也可响应您的特殊需要。
特点:1、集成一体化结构。
2、极限真空度高,可达7×10-5Pa,可保证更高的镀膜纯净度,提高镀膜质量。
3、从大气到工作背景真空(7×10-4Pa)时间短,30分钟左右(充干燥氮气)。
系统停泵关机12小时后真空度:≤8Pa。
4、整机采用柜式结构,密封性能好,防尘防水,安全。
5、磁控、热蒸发多种镀膜方式可选。
本信息由艾明坷为您提供,如果您想了解更多产品信息,您可拨打图片上的咨询,艾明坷竭诚为您服务!
江苏真空镀膜系统-艾明坷由艾明坷科技(北京)有限公司提供。
艾明坷科技(北京)有限公司是从事“手套箱,溶剂净化”的企业,公司秉承“诚信经营,用心服务”的理念,为您提供更好的产品和服务。
欢迎来电咨询!联系人:张女士。