真空镀膜系统

真空室

涂层设备主要有连续涂层生产线及单室涂层机两种形式，不锈钢材料制造、弧焊接、表面进行化学抛光处理，真空室组件上焊有各种规格的法兰接口。

真空获得部分

在真空技术中，真空获得部分是重要组成部分。真空的获得不是一种真空设备和方法所能达到的，必须将几种泵联合使用，如机械泵、罗茨泵、分子泵系统等。

真空测量部分

真空系统的真空测量部分，就是要对真空室内的压强进行测量。像真空泵一样，没有一种真空计能测量整个真空范围，人们于是按不同的原理和要求制成了许多种类的真空计。如热偶计，电离计，皮拉尼计等。

电源供给部分

靶电源主要有直流电源、中频电源、脉冲电源、射频电源(RF)，常见的电源厂商有AE，ADL，霍廷格等。

真空镀膜系统

真空度相对来说比较稳定，但是也会受到一些因素的影响，比如大气压，但是安装真空泵过滤器是不会对真空度产生影响。

关键对镀膜加工工艺的危害，不管哪些镀膜方法，真空度越高亦意味着炉内含有的杂气分子越少，那样镀膜膜层成份就更趋于你要想的占比，简易的说便是纯净度及结晶体情况更具精密性。

另外，针对镀膜而言，都有加温这一基本步骤，较高的真空度能够避免板材表层空气氧化或渗氮，真空镀膜系统，对结合性有非常大的协助。

真空镀膜工艺对真空泵的要求较高，同时，对真空泵过滤器也具有较高要求，因此推动真空泵过滤器的发展进步。

真空镀膜系统

工艺气体输入系统

工艺气体，如气(Ar)、气(Kr)、氮气(N2)、(C2H2)、(CH4)、氢气(H2)、氧气(O2)等，一般均由气瓶供应，经气体减压阀、气体截止阀、管路、气体流量计、电磁阀、压电阀，然后通入真空室。这种气体输入系统的优点是，管路简捷、明快，维修或更换气瓶容易。各涂层机之间互不影响。也有多台涂层机共用一组气瓶的情况，这种情况在一些规模较大的涂层车间可能有机会看到。它的好处是，减少气瓶占用量，统一规划、统一布局。缺点是，由于接头增多，使漏气机会增加。而且，各涂层机之间会互相干扰，一台涂层机的管路漏气，有可能会影响到其他涂层机的产品质量。此外，更换气瓶时，必须保证所有机台都处于非用气状态。

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