真空热蒸发镀膜工艺

OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极，薄膜的质量关系到器件质量和寿命。
在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟，加热蒸发舟蒸镀有机 材料；在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟，金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作，电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函数的活泼金属。
ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上，其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案，并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。

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亚克力手套箱主要用途

一、配合基础实验室样品的隔水，隔氧，危险气体泄漏及一系列的与空气反应的危险实验.

二、在配合科研单位进行低能量放1射性物质的实验工作，微生物接种的无菌操作及化学物品定性定量分析等有关密闭性隔离操作.

三、在电子材料、磁性材料、装备电池、生物培育、食品包装、电池材料等需要保护气氛下进行加工的过程中。

四、箱体内配备有多空插座，可在内部实现惰性气体保护下研磨，称重，包装，如研磨设备，天平，封口机，旋图仪等小型实验设备均可在箱体内工作.

主要功能在于对O2，H2O，有机气体的清除。
广泛应用于无水、无氧、无尘的超纯环境，如：锂离子电池及材料、半导体、超级电容、特种灯、激光焊接、钎焊、材料合成、OLED、MOCVD等。
也包括生物方面应用，如细胞低氧培养等.

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真空手套箱

手套箱包含真空手套箱、有机玻璃手套箱、净化手套箱，所谓真空手套箱其实就是刚刚引进手套箱概念到国内时，国内批厂商命名的，EDWARDS RV12 真空泵厂家，就是手套箱需要真空泵抽取过渡舱气体后放入手套箱，箱体气氛也可以被真空泵抽取的意思，可以带惰性气体纯化系统也可以是不带气体纯化系统简单的箱体；有机玻璃手套箱一般是不带气体净化系统的透明箱体，里面填充99.999%纯度氮气，一般箱内气氛不能达到<10ppm的纯度，不带气氛检测、吹扫过称需消耗大量氮气；净化手套箱一般是带气体纯化系统和密闭箱体操作空间的手套箱，可达到的环境气氛纯度高，一般品质过硬的厂商，水氧指标都能控制到<1ppm的高纯状态。

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