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特种气体使用安全

首先,应对特气的危害性进行分析,通过本质安全设计,消除安全隐患。
根据行业规范,对特气房选址、安全间距、防火分区、房间通风、电气防爆等进行评估。
管道设计应进行保压和氦测漏,确保系统密闭性。
钢瓶和管道阀门应选用隔膜或波纹管密封阀门。
管道系统应采用焊接系统,机械接头均应置于抽风罩内。
排放气体应进行安全处理。
气体输送设备具有紧急切断功能。
操作应遵循标准操作规程。

其次,采用监测手段,预防事故发生。
设置气体泄漏侦测器,高纯供气价格,监控气体泄漏。
可燃性气体应设置高温或火焰侦测器。
危险气体应设置过流开关。
特气系统气柜应进行负压监测,防止抽风系统的失效。
侦测系统应与报警和紧急切断连锁。
系统还应进行远程监控。
监控系统应设置不间断电源。

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特种气体钢瓶在运输和储存的注意事项

由于特种气体产品的潜在危险性,如氧气遇油脂着火,气瓶倒下使阀门拆断引起飞瓶,惰性气体引起窒息等等。
所以在气体使用、搬运及储存中应注意的一些安全事项。

气体钢瓶在运输和装卸过程中应轻装轻卸,严禁抛、滑、滚及剧烈碰撞。
             

使用气体前应按要求将合格的减压阀连接到气瓶上,并清洁连接软管。
不同气体的气瓶使用时不要使用同一个减压阀。

不应在封闭空间内用惰性气体(如氮气、二氧化碳等)进行实验分析、烧焊、低温冷藏、吹除等等。
 

烧焊时,应对气体及电气采取适当的保护措施。
不要使用损坏的设备,如软管、电缆及焊等。
             

特种气体气瓶存放区应比较干燥,并有良好通风,高纯供气,严禁明火和其它热源,严禁曝晒可燃气瓶或氧气瓶附近严禁吸烟,气瓶不应接触到火花、火焰、热气及电路。

在储存、运输及使用杜瓦罐时不能使其卧倒,应永远使杜瓦罐保持直立状态。
 

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特种气体的应用

电子工业是当今推动科技发展的高新技术产业,由于所用气体的品种多、质量要求高,高纯供气公司,为有别于其它领域应用的气体,人们把这类在电子工业中用的气体统称为电子特种气体,它是当今兴起的高技术含量、高投入、高附加值的高新技术产业。
电子行业常用的特气超过三十余种,按危险性质可分为不燃气体、可燃气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体等。
按照物理形态可分为压缩气体、液化气体和低温气体。

特种气体的应用领域主要在集成电路制造、太阳能电池、化合物半导体、液晶显示器、光纤生产四大领域,其中主要应用于半导体集成电路的生产制造。
在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体,其中常用的有20~30种。

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