小流量气体净化系统

高纯供气系统主要应用于钢瓶气、管道气及气体发生器等的高纯连续供气，应用于超微量水、氧分析仪、气相色谱仪、常压离子质谱仪等各类气体分析仪器纯化载气或零点气，也可用于超高纯度气体管道安装施工中的吹扫气体，更可以为半导体工艺设备提供超高纯的工艺气体。

气体净化系统根据需求采用常温或者高温吸附剂，电化学抛光316L不锈钢管件，出气口配置微米过滤器，其气体纯化指标达到各项杂质含量小于1ppb的世界先进水平。

气体配比仪采用质量流量计，电化学抛光316L不锈钢管件，双卡套或者VCR气体接头。

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氦质谱检漏仪

真空检漏的方法很多，氦质谱检漏仪的使用大大提升了检漏工作效率。

漏孔是指真空器壁上存在的形状不定、极其微小的空洞或间隙。
大气通过其进入真空系统或容器中；

漏率（漏气速率）：是指单位时间内通过漏孔或间隙流入到真空系统或容器的气体量；

1小可检漏率：是指采用某种检漏方法或仪器可能检测出来的1小漏率；

检漏灵敏度：也叫有效灵敏度，指检漏仪器在1佳工作状态下能检出的1小漏率；

反应时间：也称响应时间，是指从检漏方法开始实施（如喷射示漏气体）到指示方法或仪器指示值上升到其漏孔1大泄漏率的63%时所需要的时间；

消除时间：是指从检漏方法停止（如停止喷吹示漏气体）到指示方法或仪器指示值下降到漏孔泄漏率的37%时所需的时间；

漏孔堵塞现象：指由于真空检漏作业操作不当导致尘埃或液体堵塞漏孔，检漏时似乎不漏气，但一经排气就会出现漏气的一种现象。

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特种气体使用安全

首先，应对特气的危害性进行分析，通过本质安全设计，消除安全隐患。
根据行业规范，对特气房选址、安全间距、防火分区、房间通风、电气防爆等进行评估。
管道设计应进行保压和氦测漏，确保系统密闭性。
钢瓶和管道阀门应选用隔膜或波纹管密封阀门。
管道系统应采用焊接系统，机械接头均应置于抽风罩内。
排放气体应进行安全处理。
气体输送设备具有紧急切断功能。
操作应遵循标准操作规程。

其次，采用监测手段，预防事故发生。
设置气体泄漏侦测器，监控气体泄漏。
可燃性气体应设置高温或火焰侦测器。
危险气体应设置过流开关。
特气系统气柜应进行负压监测，高纯供气系统价格，防止抽风系统的失效。
侦测系统应与报警和紧急切断连锁。
系统还应进行远程监控。
监控系统应设置不间断电源。

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