实验室气路安装要求

1、所有气体管路都由高质量的、完全退火型、无缝连接的不锈钢管组成。
铜管只使用在气体管路的末端，对气体纯度要求不是太严格的地方。

2、气路安装管道不得和电缆、导电线路同架铺设。

3、易1燃气体，如乙1炔需要和其他气体分开单独引入。
氢气管道若与其他可燃气体管道平行敷设时，其间距不应小于0.5M；交叉敷设时间距不应小于0.25M。
分层敷设时氢气管道应位于上方。

4、压缩空气在管路上有过滤杂质和水分的净化装置，高纯供气系统报价，此净化装置需要并联一路，用单独的阀门隔离，以方便对过滤装置进行维修。

5、高纯气体管路的连接为无缝焊接。
连接到阀门或调节装置时才可以使用接头配件。

6、每个实验室都要有单独的控制阀、减压阀和压力表。

7、引到工作台的气体管路要安装单独的控制阀。
工作台上要均匀排放各种气体的控制阀门。
在氦气管路前面建议安装气体净化装置。

8、每隔1.5米左右，气体管路就需要有支架。
另外根据气体管路弯曲的半径，设置合适的支架位置。
所有弯曲处都要有支撑。
气路安装管路所有的支架都要进行镀锌防腐处理。

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电子特气管道系统氦检漏检测规定

1、氦检漏仪表应采用质谱型氦检测仪，其检测精度不得低于1*10-10mbar*l/s。

2、特气系统，高纯供气系统价格，内向测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-9mbar*l/s;

3、阀座测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s;

4、外向测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s。

氦检漏发现的泄漏点经修补后，辽宁高纯供气系统，应重新经过气密性试验，合格后再按规定进行氦检漏。
所有可能泄漏点应用塑料袋进行隔离。
系统测试完毕，应充入高纯氮气，并进行吹扫。
测试完毕后，应提交测试报告。

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特种气体的应用

电子工业是当今推动科技发展的高新技术产业，由于所用气体的品种多、质量要求高，为有别于其它领域应用的气体，人们把这类在电子工业中用的气体统称为电子特种气体，它是当今兴起的高技术含量、高投入、高附加值的高新技术产业。
电子行业常用的特气超过三十余种，按危险性质可分为不燃气体、可燃气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体等。
按照物理形态可分为压缩气体、液化气体和低温气体。

特种气体的应用领域主要在集成电路制造、太阳能电池、化合物半导体、液晶显示器、光纤生产四大领域，其中主要应用于半导体集成电路的生产制造。
在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体，其中常用的有20～30种。

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